Takamasu - Takahashi Lab 高増・高橋研究室 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻 知的ナノ計測分野 本文へジャンプ


知的ナノ計測専門委員会

トレーサビリティ 計測工学寄付講座


東京大学大学院
工学系研究科
精密機械工学専攻


東京大学工学部
精密工学科




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高増・高橋研究室 最新情報
  • IMEKO Worl Congress2009(リスボン,ポルトガル,2009年9月6日〜9月11日)に高橋,工藤が参加しました.工藤の発表(R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu, Fundamental Verification fo 2-Dimensional Super-Resolution Optical Inspection for Semiconductor Defects by Using Standing Wave Illumination Shift)は,Gyögy Striker Junior Paper Award として表彰されました.György Striker Junior Paper Award は,3年に一度開催されるIMEKO World Congressで35歳以下の若手研究者1名にだけ送られる名誉ある賞です.(2009年9月)
     
    賞状                  賞状を受け取る工藤(右)
  • 論文・業績に2008年度分を追加しました.(2009年8月)
  • 2008年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果(Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2008 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2009年8月)
  • ISMTII2009(サンクトペテルブルク,ロシア,2009年6月29日〜7月3日)に高増,高橋が参加しました.高増は招待講演とランドテーブルでの発表を行いました.(2009年7月)
  • euspen2009(サンセバスチャン,スペイン,2009年6月2日〜6月5日)に高橋が参加しました.高橋はオーラル講演を行いました.(2009年6月)
  • 新年度になり,メンバーを更新しました.(2009年4月)
  • 2008年度の修士論文および卒業論文のリストを追加しました.(2009年3月)
  • 台湾(高増,高橋)およびバンコク(高増)へ出張しました.現地の研究室卒業生に会いました.(2009年3月)
  • 精密工学会論文賞を受賞しました.精密工学会誌74巻5月号に掲載された「変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報)−解像特性の理論的検討−,臼杵深(現 静岡大学),西岡宏晃(現 東京電力),高橋哲,高増潔[PDF File]」が表彰の対象です.一昨年度,昨年度に続けての3年連続の受賞となりました.(2009年3月)

     左から,高橋,西岡,臼杵,高増

  • 2008年度の卒業に当たって,長野敏宗(4年生)がシステム創成学科学科長賞(PID/PIM卒業論文の発表の成績が優秀のため)を受賞しました.(2009年3月)
     
    長野敏宗
  • 研究内容を更新しました.(2008年8月)
  • トレーサビリティ計測工学寄附講座発足式および特別講演会を開催しました.この特別講演会は,精密工学会知的ナノ計測専門委員会と合同開催で行いました.(2008年7月)
     特別講演会

  • 精密工学会編集委員会の開催後に,見学会を実施しました.(2008年7月)
     見学会

  • 2007年度高増 ・高橋研究室研究成果(Takamasu-Takahashi Lab 2007 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2008年7月)
  • 「トレーサビリティ計測工学寄付講座発足式および特別講演会;次世代ナノ計測」を,2008年7月24日に東京大学本郷キャンパス山上会館で開催します.特別講演会では,次世代ナノ計測について,4名(高谷先生,保坂先生,高本先生,松本先生)の講演を予定しています.ぜひ多数の参加をお願いします.同時に,知的ナノ計測専門委員会の総会も開催します.(2008年7月)

     日時: 2008年7月24日(木)
     場所: 東京大学(本郷キャンパス)山上会館2階大会議室(地図
      (1) 13:30−13:50 精密工学会知的ナノ計測専門委員会− 総会−
      (2) 14:00−14:30 トレーサビリティ計測工学寄付講座− 発足式−
      (3) 14:45−17:00  特別講演会「次世代ナノ計測」
           「知的ナノ計測が創出する革新的ものづくり収斂技術」 大阪大学 高谷裕浩
           「英国立物理学研究所におけるレーザを用いた極限計測の現状」
                         産業技術総合研究所計測標準研究部門 保坂一元
           「光格子時計の現状と将来」 東京大学物理工学専攻 高本将男,香取秀俊
           「光コムによる先導的計測技術の戦略」 東京大学精密機械工学専攻 松本弘一
      (4) 17:15−19:00 懇談会山上会館1階談話ホール(3千円)

      担当者: 東京大学工学系研究科精密機械工学専攻 高橋哲准教授
      〒113-8656 東京都文京区本郷7-3-1 工学部14号館 電話03-5841-6451
      ※ 御参加希望者は,生駒 ikoma@nanolab.t.u-tokyo.ac.jp まで,
      参加するセッション(1),(2),(3),(4)を書いて、2008年7月18日(金)までにお申し込み下さい.


  • euspen2008(チューリッヒ,スイス,2008年5月19日〜5月21日)に高増,高橋が参加しました.高橋はポスター講演を行いました.(2008年5月)
  • 松本が平成20年度科学技術分野の文部科学大臣表彰 科学技術賞(研究部門)を受けました.産業技術総合研究所における研究成果が表彰対象です.「光コムによる通信帯標準の周波数計測に関する研究」(洪鋒雷,稲場肇,大苗敦,美濃島薫,松本弘一:独立行政法人産業技術総合研究所).(2008年4月)
  • 松本弘一先生が,トレーサビリティ計測工学寄付講座の特任教授として赴任されました.(2008年4月)

  • 精密工学会論文賞を受賞しました.精密工学会誌73巻8月号に掲載された「エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)−定在エバネッセント光を利用した微細周期構造創製−,梶原優介,稲月友一,高橋哲,高増潔」[PDF File]」が表彰の対象です.昨年度に続けての受賞となりました.(2008年3月)

     左から,高橋,梶原,稲月,高増

  • 2007年度の卒業に当たって,研究室の以下の学生が受賞しました.(2008年3月)
    • 桑原一樹(4年生): システム創成学科学科長賞,PID/PIM卒業論文の発表の成績が優秀のため
    • 岡田真一(修士):日本機械学会三浦賞,精密機械工学専攻修士論文の発表の成績が優秀のため
    • 梶原優介(博士課程2007年9月修了): 工学系研究科研究科長賞,精密機械工学専攻博士課程2007年度修了者の中から業績が優秀のため
       工学系研究科研究科長賞のメダル
  • トレーサビリティ計測工学寄付講座が2008年4月1日より設置されます.この講座には,4月より松本弘一特任教授が赴任されます.また,高増がこの講座の教授(兼務)となります.(2008年3月)



高増・高橋研究室の担当分野:知的ナノ計測
高増・高橋研究室は,東京大学工学系研究科精密機械工学専攻の研究室で,精密計測の分野を担当しています.これからの精密計測に対して種々の方向を考えた新しい展開を目指しています.

研究室の紹介(精密工学会誌2004年11月)

研究の基本となるキーワードは,以下の7つです.
  • 精密測定:精密計測の基礎的な解析
  • ナノメートル計測:ナノテクノロジーにおける計測技術,ナノメートル三次元測定機
  • 三次元座標測定機:三次元測定機,CMM (Coordinate Measuring Machine) における計測技術
  • 測定の不確かさの評価:Uncertainty of Measurement
  • 三次元機構の校正:パラレルメカニズム,パラレル三次元測定機
  • 先端計測技術:光計測,生体計測,人体計測
  • 近接場利用超精密計測,加工


精密計測技術の新しい展開


研究の概要
研究としては,以下のようなことを行っています.
研究内容については,こちらを参照して下さい.
  • リングビームを用いた三次元変位測定
  • 差分測定を利用した形状復元アルゴリズムの研究
  • メカノオプトプローブを利用した広範囲薄膜形状の測定
  • 定在照明のシフトを利用した超解像半導体欠陥検査
  • 定在エバネッセント光による超解像顕微法の研究
  • 近接場光学を用いたナノインプリントのための膜厚測定
  • 平面モータの校正−真直度と直角度の計測
  • 歯車車輪式平面リニアモータシステムの開発
  • エバネッセント光を用いたナノ光造形法の研究
  • 光触媒による三次元金属微細構造創成に関する研究
  • 実環境における実時間RSA検出手法の研究
  • nano-CMM(ナノメートル分解能三次元座標測定機)の開発
  • 論文リスト



連絡先情報
  • 電子メール:takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp ([at]を@に置き換えて下さい.)
  • 電話番号: 03-5841-6450  FAX番号: 03-5841-8554
  • 住所:
    〒113-8656 東京都文京区本郷7-3-1
    東京大学大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 高増潔
  • 場所:本郷キャンパス工学部14号館9階931室
    本郷キャンパス 工学部14号館9階


2004年9月 安田講堂前